Optimierung, Entwicklung und Beratung Beschichtungsprozesse

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Europa
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40‐50€/Stunde
01309 Dresden
09.03.2017

Kurzvorstellung

- Entwicklung Beschichtungsprozesse PECVD, LPCVD, PLD
- SiN, SiOx, SiCN, Si, a-C, DLC, BN Schichten
- Methodik: DOE, SPC, FMEA
- Analytik: Ellipsometrie, FTIR, Defekte, Stress
- Gebiet: Halbleiter (IC, PV), optische Vergütung, Verschleißschutz

Ich biete

  • Beschichten
  • Ingenieurwissenschaft

Projekt‐ & Berufserfahrung

Inhaber
[...] Schichttechnologie, Dresden
12/2013 – offen (7 Jahre, 3 Monate)
Dienstleistungsbranche
Tätigkeitszeitraum

12/2013 – offen

Tätigkeitsbeschreibung

Mit meiner langjährigen beruflichen Erfahrung im Bereich der Beschichtungstechnologie biete ich als selbständiger Ingenieur Beratung und konkrete Entwicklung/Optimierung von Beschichtungsprozessen an.

Schwerpunkt sind PE-CVD-Schichten, die eingesetzt werden
- in der Produktion von integrierten Schaltkreisen und Solarzellen
- in der Mikrosystemtechnik
- zur Verschleißminderung
- zur Vergütung von Gläsern

Durchgeführte Arbeiten als selbständiger Ingenieur (Zeitraum 2014-2016):

- Entwicklung Beschichtungsprozesse zur Vergütung von Display-Gläsern
- Branche: Anlagenbau - Vakuumbeschichtung
- Optimierung PECVD-Prozesstechnik für homogene, Kanten bedeckende Vergütung
- Zielvorgabe erreicht durch Modifikation Anlagentechnik und Prozessparameter
- Charakterisierung Proben mit Spektralellipsometrie

- Erstellung Überblick CVD-Verfahren zur Herstellung diamantähnlicher Schichten
- Branche: Auftragsbeschichtung - Medizinprodukte
- Einsatzmöglichkeit PECVD- als Alternative für PVD-Technologie zur DLC-Synthese
- Überblick über Stand der Technik und kommerziell verfügbare Anlagen

- Beratungsgespräche zur Verbesserung Stabilität PECVD-Prozesse
- Branche: Halbleiterfertigung
- Strategie für Reduktion-Prozesschwankungen bzw. Verbesserung Anlagen-Uptime
- Vorgehen zu Reduktion Metallkontamination und Stabilisierung TEOS-Prozess

Eingesetzte Qualifikationen

Beschichten


Freiberuflicher Ingenieur
Selbständiger Ingenieur, Dresden
1/2013 – 11/2013 (11 Monate)
High-Tech- und Elektroindustrie
Tätigkeitszeitraum

1/2013 – 11/2013

Tätigkeitsbeschreibung

Vorbereitung Selbständigkeit, fachliche Weiterbildung.


MTS Prozessingenieur CVD, Thin Films
Globalfoundries, Dresden
3/2009 – 12/2012 (3 Jahre, 10 Monate)
High-Tech- und Elektroindustrie
Tätigkeitszeitraum

3/2009 – 12/2012

Tätigkeitsbeschreibung

• Verantwortlich für PECVD-Prozesse: Etch Stop-, ARC- u. Passivierungsschichten
• Entw. von high-Stress-Schichten für Steigerung Transistorperformance (Patente erstellt)
• Entw. von Cu-Deckschicht-Interfaces von hoher Zuverlässigkeit (Patente erst., 2 Paper)
• Anwendung statist. Methoden (DOE, SPC)
• Leitung KVP-Projekte Steigerung Anlagenproduktivität
• Mitarbeit an Forschungsprojekten inkl. Dokumentation
• Schulung Mitarbeiter in Prozesstechnologie

Eingesetzte Qualifikationen

Beschichten


Prozessingenieur CVD, Thin Films
AMD Saxony, Dresden
2/1999 – 2/2009 (10 Jahre, 1 Monat)
High-Tech- und Elektroindustrie
Tätigkeitszeitraum

2/1999 – 2/2009

Tätigkeitsbeschreibung

• Entwicklung und Optimierung PECVD-Prozesse: Etch Stop-, ARC-Schichten, HDP STI-Fill
• Cu-Deckschicht-Interfaces von hoher Zuverlässigkeit
• KVP Projekte zur Kostenreduktion CVD Prozessierung
• Optimierung optische Schichtdickenmessung, Pflege der Messrezepte
• 06-2004: Beförderung zum Senior Prozessingenieur
• 01-2007: Beförderung zum MTS Prozessingenieur

Eingesetzte Qualifikationen

Beschichten


Fertigungsingenieur, Thin Films
AMD Saxony, Dresden
10/1997 – 1/1999 (1 Jahr, 4 Monate)
High-Tech- und Elektroindustrie
Tätigkeitszeitraum

10/1997 – 1/1999

Tätigkeitsbeschreibung

• erste 9 Monate: Training und Mitarbeit an Standorten in den USA (Mikroprozessorfertigung in Austin/TX und Entwicklung in Sunnyvale/CA)
• Identifizierung technisch-technologischer Probleme im Produktionsablauf im Bereich Thin Films
• Behebung der im Produktionsbetrieb auftretenden technischen Probleme mit dem Ziel, die Entwicklungs- und Produktionsziele einzuhalten
• Mitarbeit bei Tool-Evaluationen für die Ramp-Phase der hochzufahrenden Fab in Dresden

Eingesetzte Qualifikationen

Beschichten


Zertifikate

Doktorurkunde
März 2004

Ausbildung

Medizinische Physik und Technik
(Zertifikat: Sicherheitsbeauftragter Medizinprodukte)
Jahr: 2016
Ort: Kaiserslautern (Fernstudium)

Promotionsstudiengang Werkstoffwissenschaft / Doktorarbeit
(Dr.-Ing.)
Jahr: 2004
Ort: Dresden

Diplom-Physik
(Dipl.-Physiker)
Jahr: 1990
Ort: Freiburg i. Br.

Qualifikationen

Qualifikationen auf dem Gebiet Beschichtungstechnologie:

• insgesamt 15 Jahre Tätigkeit in zwei international geprägten Unternehmen der Halbleiterproduktion mit Schwerpunkt auf Entwicklung und Betreuung von PECVD-Prozessen für unterschiedliche, funktionale Schichtsysteme: Etch Stop-, ARC- u. Passivierungsschichten, HDP STI-Fill. Projekte u. a. Verbesserung Zuverlässigkeit Kupfer-Deckschicht-Interfaces; Erzeugung Schichten hohen Stresses sowie Stress-Relaxation, Kostenreduktion

• Entwicklung PECVD-Prozesse zur Vergütung von 2- und 3-dimensionalen Display-Gläsern

• Doktorarbeit zur Synthese diamantähnlicher Schichten mit Hilfe gepulster Laserstrahlung (PLD) und Promotionsstudium im Studiengang Werkstoffwissenschaft; Modellierung der Bildung diamantähnlicher Phasenanteile

• Diplomarbeit und wissenschaftlicher Mitarbeiter auf dem Gebiet der Herstellung photovoltaischer Absorberschichten mit CVD-Verfahren: Abscheidung dünner, dotierter Si-Schichten mit LPCVD; optisches Schmelzen dünner Si-Schichten; CVD-Abscheidung von GaInP2-Schichten

Außerdem seit 03/2016: zertifizierter Sicherheitsbeauftragter Medizinprodukte.

Über mich

Nach einer mehr als 20 jährigen Tätigkeit auf dem Gebiet der Beschichtungstechnologie in verschiedenen Unternehmen habe ich mich entschlossen, als selbständiger Ingenieur auf diesem Gebiet zu arbeiten. Dazu habe ich im Dezember 2013 als Inhaber das Einzelunternehmen gegründet (Website siehe Kontaktdaten). Die Umsetzung der Kenntnisse in verschiedenen Applikationen ist die Zielsetzung dieser Gründung.

Persönliche Daten

Sprache
  • Deutsch (Muttersprache)
  • Englisch (Fließend)
  • Spanisch (Grundkenntnisse)
Reisebereitschaft
Europa
Arbeitserlaubnis
  • Europäische Union
  • Schweiz
Profilaufrufe
1516
Alter
58
Berufserfahrung
30 Jahre und 1 Monat (seit 01/1991)
Projektleitung
1 Jahr

Kontaktdaten

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